442
Фонд
:
Ф. 442 Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского») Государственной корпорации «Ростех»
Номер фонда
:
442
Наименование
:
ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского»
Полное наименование
:
Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского») Государственной корпорации «Ростех»
Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского») Государственной корпорации «Ростех»
Аннотация
:
Научно-исследовательская документация.
- научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1948 – 1967 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами, относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», а также научно-исследовательские отчеты за авторством С.А. Векшинского и его жены, Л.С. Векшинской, за 1951, 1954, 1961, 1964 годы; - научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1967 – 1978 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами (в том числе аннотационными, обзорными, техническими), относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», а также научно-исследовательский отчет за 1968 год за авторством С.А. Векшинского и его жены, Л.С. Векшинской;
- научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1978 – 1993, 2003 – 2004 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами (в том числе обзорными), относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского».
Конструкторская документация.
- конструкторская документация постоянного срока хранения за 1963 – 1991, 1993 гг., представленная спецификациями на изделия, техническими условиями, техническими описаниями и инструкциями по эксплуатации и настройке изделий, паспортами, формулярами, патентными формулярами, пояснительными записками, ведомостями проектов, сборочными чертежами, картами технического уровня и качества продукции, принципиальными электрическими схемами на стадиях «эскизный проект», «технический проект» и «рабочая документация». Изделия разработаны предшественниками АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского».
Научно-исследовательская документация.
- научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1948 – 1967 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами, относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», а также научно-исследовательские отчеты за авторством С.А. Векшинского и его жены, Л.С. Векшинской, за 1951, 1954, 1961, 1964 годы; - научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1967 – 1978 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами (в том числе аннотационными, обзорными, техническими), относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», а также научно-исследовательский отчет за 1968 год за авторством С.А. Векшинского и его жены, Л.С. Векшинской;
- научно-исследовательская документация постоянного срока хранения за 1978 – 1993, 2003 – 2004 гг., представленная научно-исследовательскими отчетами (в том числе обзорными), относящимися к деятельности предшественников АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского».
Конструкторская документация.
- конструкторская документация постоянного срока хранения за 1963 – 1991, 1993 гг., представленная спецификациями на изделия, техническими условиями, техническими описаниями и инструкциями по эксплуатации и настройке изделий, паспортами, формулярами, патентными формулярами, пояснительными записками, ведомостями проектов, сборочными чертежами, картами технического уровня и качества продукции, принципиальными электрическими схемами на стадиях «эскизный проект», «технический проект» и «рабочая документация». Изделия разработаны предшественниками АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского».
Историческая справка
:
НИИВТ берет свое начало с небольшой Центральной вакуумной лаборатории (ЦВЛ), организованной в 1944 г. одним их основателей отечественной вакуумной промышленности, впоследствии академиком АН СССР Сергеем Аркадьевичем Векшинским.
Первоначально лаборатория занималась проблемами, связанными с применением изобретенного С.А. Векшинским метода металлографического исследования сплавов в вакууме. Однако в 1945 г. происходит существенное изменение тематики лаборатории. По инициативе И.В. Курчатова коллектив, возглавляемый С.А. Векшинским, был привлечен к работам по созданию атомного оружия. На ЦВЛ возлагаются задачи по разработке принципиально новой техники получения и измерения вакуума, детекторов ионизирующих излучений, реализации метода электромагнитного разделения изотопов урана. Принимая во внимание исключительную важность и сложность поставленных проблем, в 1947 г. правительство принимает решение о создании на базе ЦВЛ Научно-исследовательского вакуумного института (НИВИ) в составе Министерства радиоэлектронной промышленности СССР (МРП СССР). Директором НИВИ назначается член-корреспондент АН СССР С.А. Векшинский.
Проведение широким фронтом исследований и разработок позволило институту получить серьезные результаты уже в первые годы существования. Были созданы высокопроизводительные вакуумные диффузионные насосы Н-3 и Н-20 с быстротой действия 10 000 и 20 000 л/с, бустерный насос БН-3, форвакуумные насосы ВН-1, ВН-2 и ВН-4, необходимая вакуумная арматура. Выполнена разработка вакууметров УТВ-46, ВИ-4 и ВК-1 с преобразователями ЛТ-2 и ЛМ-2.
Группой сотрудников выполнены исследования направленные на разработку технологии обогащения урана изотопом U235 методом электромагнитной масс-сепарации.
Создан первый отечественный масс-спектрометрический гелиевый течеискатель ПТИ-1, а затем созданы модели с более высокими характеристиками. Создаются и внедряются в серийное производство измерители парциальны давлений ИПДО-1 и ИПДО-2, которые широко применялись в различных отраслях промышленности.
Важным направлением работы института становится разработка ионизирующих излучений. Ионизационными камерами для контроля и управления работой атомных реакторов, созданными в НИВИ, были оснащены исследовательские и промышленные ядерные реакторы, начиная со знаменитого Ф-1, энергетические установки всех атомных подводных лодок, первая в мире АЭС в Обнинске (1954 г.), первый атомный ледокол «Ленин» и другие объекты.
В начале 1950-х гг. НИВИ принимается за исследования и разработки по созданию специальных электровакуумных приборов, необходимых для повышения эффективности ядерного оружия. До тех пор никому в мире не удавалось сделать такие приборы. Испытания в 1954 г. ядерных бомб РДС-3 и РДС-5 показали высокий технический уровень и надежность созданных в институте приборов.
В 1950-е гг. НИВИ включается в работу по решению «труднейшей и величественной задачи века» – овладению энергией термоядерного синтеза. По словам И.В. Курчатова, термоядерные реакторы не могут быть созданы без настоящей технической революции в области вакуумной техники, когда необходимо получать в больших установках в тысячи и десятки тысяч раз более глубокие разрежения. Для этого институту было необходимо провести широкий комплекс научно-технических мероприятий, включавший в себя разработку средств получения высокого и сверхвысокого, в том числе безмасляного вакуума, приборов для измерения низких давлений в условиях агрессивных сред, рассеянных магнитных полей и т.п., высокочувствительной и надежной аппаратуры поиска течей в разнообразных системах, новой соединительной и запорной аппаратуры. В результате работы в этих направлениях в 1950-х годах в институте была создана база для перехода к вакуумной технике нового поколения с применением устройств испарения, ионизации, разряда в вакууме, сорбции газа на охлаждаемых поверхностях с использованием возобновляемых слоев химически активных элементов и т.п.
В конце 1950-х гг. были сконструированы электронно-лучевые испарители титана, обеспечивающие скорость испарения до 1,5 г/мин. Испарители использовались для нанесения титана н специально охлаждаемые экраны внутри термоядерных реакторов типа ОГРА. Еще одним результатом работы в этом направлении стала разработка сорбционно-ионных насосов типа СИН с быстротой действия до 2500 л/с. На базе насоса СИН-20 был создан уникальный откачной агрегат АВТО-20М, обладавший быстротой действия по водороду 3000 л/с с предельным давлением 10-10 Па.
В начале 1960-х гг. был создан новый ряд геттерно-ионных насосов типа ГИН с быстротой действия от 5 до 50 000 л/с, особенностью которых являлось применение оригинальных прямонакальных испарителей на основе иодидного титана. Признанием высокого технического уровня созданных геттерно-ионных насосов стало награждение насоса ГИН-0,5 золотой медалью Лейпцигской ярмарки в 1965 г.
В 1960 – 1964 гг. в институте разрабатывается первая серия диодных магниторазрядных насосов типа НЭМ с быстротой действия от 30 до 6500 л/с и предельным остаточным давлением 10-8 Па. Спустя несколько лет создаются оригинальные сверхвысоковакуумные насосы типа НОРД. Насосы имели аноды, охлаждаемые водой, и отличались более высокой производительностью и повышенным давлением запуска. Результатом дальнейшего совершенствования насосов стала разработка серии диодных насосов типа НМД с неохлаждаемым анодом и быстротой действия от 0,1 до 1000 л/с.
В середине 1960-х гг. в институте были созданы первые образцы турбомолекулярных насосов. Дальнейшее совершенствование турбомолекулярных средств откачки позволило создать в последующие годы конструкции как со смазываемыми маслом шарикоподшипниковыми опорами, так и полностью безмасляные насосы с магнитными опорами ротора.
Одновременно была разработана единая система паромасляных насосов и агрегатов. В том числе был создан парортутный насос с рекордным предельным вакуумом 10-11 Па.
В конце 1960-х гг. были созданы крупнейшие в мире диффузионные насосы с быстротой действия 100 000 и 200 000 л/с. Проводилась большая работа по совершенствованию средств измерения вакуума. Были созданы новые вакууметры как общего применения, так и для использования в АСУТП.
Наряду с созданием вакуумного оборудования институт непосредственно занимался исследованиями и разработками по проблеме управляемого термоядерного синтеза и ускорителей элементарных частиц. В 1950-е гг. проводилась разработка сильноточного инжектора ионов для крупных ускорительных систем. В 1961 г. была введена в действие крупногабаритная установка для исследования плазменных процессов В-04, на которой изучались взаимодействие водородной плазмы со стенками, возможность создания высоко- и сверхвысокой вакуумной среды в рабочей камере, процесс зондирования плазмы пучками нейтральных атомов и другие процессы. По отзывам академиков А.Ф. Иоффе и Л.А. Арцимовича, эти эксперименты дали важный материал для понимания процессов образования и удержания высокотемпературной плазмы.
Одной из конкретных задач, поставленных перед институтом атомной энергетикой, явилась проблема получения особо чистого циркония. В короткий срок институт сумел разработать технологию и оборудование для получения особо чистого циркония и внедрил их в промышленное производство.
С развертыванием в стране деятельности рамках программы работ по исследованию и освоению космического пространства НИВИ был привлечен к созданию вакуумного оборудования для этой цели. С участием института проектируются вакуумные комплексы для заполнения ракет топливом, вакуумные камеры-имитаторы космического пространства, разрабатываются методики и приборы для проверки на герметичность космических аппаратов. Специалисты института участвуют в предполетных испытаниях искусственных спутников земли ИС-1, ИС-2, ИС-3, космических кораблей «Восток-1», «Восток-2» и др.
Одной из важных и ответственных работ института по космической тематике стало создание специального контейнера и вакуумной станции для приема и исследования лунного грунта, доставленного советской межпланетной станцией «Луна-16». Разработаны уникальные приборы для измерения концентрации космической плазмы, которыми были оснащены межпланетные станции «Луна-9» и «Луна-10», а в 80-х годах станции «Вега-1» и «Вега-2».
С 1960-х гг. НИВИ все большей степени привлекается к разработке вакуумных технологий и оборудования для электронной промышленности.
В 1966 г. на основании Приказа от 18.11.1966 г. № 280 НИВИ (п/я 2168) переименован в Научно-исследовательский институт вакуумной техники (НИИВТ).
Широкий спектр новых задач был поставлен перед учеными и инженерами бурно развивавшимся производством полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС).
Одним из наиболее важных процессов производства ППП и ИС является контролируемое введение примесей заданных элементов в полупроводниковые пластины. С начала 1960-х гг. стали предприниматься попытки использовать для введения примесей пучком ускоренных ионов. Метод, получивший название ионной имплантации, позволял осуществлять введение примесей при сравнительно низких температурах с заданным профилем распределения примеси по глубине.
В 1969 г. в НИИВТ была создана первая универсальная установка ионной имплантации «Везувий-1» и освоено ее серийное производство. Установка ионной имплантации представляет собой сложное электрофизическое оборудование, в которых обработка полупроводниковых пластин проводится в высоком вакууме, а ускоряющее напряжение пучка ионов может достигать 200 – 500 кВ. Установки ионной имплантации имеют стратегическое значение, их продажа в СССР из-за рубежа была запрещена, и этот запрет сохраняется и в настоящее время для продаж в Россию. Вслед за первой установкой ионной имплантации в НИИВТ был разработан параметрический ряд установок, отличающихся по виду и энергии ионов, величине ионного тока, величине дозы имплантации и т.п. В течение 20 лет было создано 17 моделей установок ионной имплантации типа «Везувий», позволивших полностью удовлетворить потребность электронной промышленности СССР в технологическом оборудовании данного типа. Базовыми заводами отрасли за это время были изготовлены около 1000 таких установок, с использованием которых отечественной промышленностью были выпущены сотни миллионов приборов – дискретных ППП и интегральных схем разных классов, включая сверхбольшие и сверхскоростные интегральные схемы (СБИС и УБИС).
В связи с потребностями электронной промышленности с начала 1970-х годов выполняется комплекс исследований и разработок, связанных с созданием ионно-плазменных методов осаждения и травления пленок. Ранее в институте был создан оригинальный холодный ионный источник, защищенный патентами в восьми высокоразвитых странах. На базе усовершенствованного источника с холодным катодом и практически неограниченным сроком службы совместно с Калининградским машиностроительным заводом разработана гамма установок ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого травления и ионно-плазменного осаждения тонких пленок.
Технология и оборудование ионно-плазменной обработки стали одним из тематических направлений института. Наряду с ионно-лучевыми источниками разработан ряд источников ионов магнетронного типа МАГ и оборудование на их основе. Разработанные технологические процессы и оборудование позволили исключить жидкостные процессы в производстве и подойти к реализации в промышленности полностью сухого цикла изготовления изделий микроэлектроники с субмикронными размерами элементов. На базе этого оборудования стало возможным создание полностью автоматизированных технологических линий изготовления ППП и ИС.
Еще одним направлением работ в НИИВТ для электронной промышленности явилась разработка вакуумно-дуговых методов нанесения металлических покрытий на диэлектрические и металлические изделия. На базе разработанных институтом плазменно-дуговых источников совместно с Калининградским машиностроительным заводом создано оборудование для плазменно-дугового нанесения покрытий.
С целью использования в серийном производстве электровакуумных приборов типа ЭОП и др. в институте была разработана технология «переноса» для изготовления ЭВП в едином вакуумном цикле.
Для автоматизации технологического оборудования созданного в НИИВТ были разработаны управляющие технологические комплексы типа «Интеграл» и УТК.
В 1977 г. на основании Приказа от 08.07.1977 г. № 36-в НИИВТ переименован в Научно-исследовательский институт им. С.А. Векшинского.
В 1977 г. НИИВТ был привлечен к выполнению большой и ответственной работы по изготовлению и поставке в Ливию для строящегося Центра атомных исследований (ЦАИ) вакуумно-технологического комплекса по проекту «Токомак-4А». В июле 1982 г. оборудование было смонтировано и введено в действие в составе ЦАИ.
В связи с быстрым ростом увеличения степени интеграции интегральных схем возникла потребность в создании литографического оборудования обеспечивающего создание топологии ИС с субмикронными размерами элементов. Для достижения этой цели в НИИВТ была разработана уникальная не имеющая аналогов в мире установка электронной проекционной литографии «Вертикаль», принцип действия которой заключался в переносе изображения СБИС с перфорированной маски на пластину с уменьшением от 3 до 10 раз и разрешением 0,2 мкм. Был предусмотрен также вариант переноса изображения отдельных фрагментов СБИС с маски на пластину и высокоскоростное впечатывание этих фрагментов в единую СБИС на пластине. Разработанные установки типа «Вертикаль» были запущены в серийное производство и применялись для производства СБИС ЗУ на ЦМД в НИИВТ и других предприятий отрасли.
В 1982 г. на основании Приказа от 26.11.1981 г. № 140-в Научно-исследовательский институт им. С.А. Векшинского переименован в Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского (НИИВТ им. С.А. Векшинского).
В 1985 г. в институте была создана уникальная не имеющая аналогов в мире полностью автоматизированная линия, предназначенная для изготовления сверхбольших интегральных схем запоминающих устройств (СБИС ЗУ) на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД) с размерами элементов до 0,5 мкм. Линия состояла из модуля электронной проекционной литографии, модулей нанесения и проявления сухих вакуумных электронных резистов, модулей плазменного и ионно-плазменного нанесения и травления конструкционных слоев, которые были связаны между собой вакуумной транспортной системой для переноса пластин с устройствами шлюзования. Особенностью линии являлось применение также не имеющих аналогов в мире сухих вакуумных резистов, нанесение, экспонирование и проявление которых проводилось в вакууме без применения жидкостных процессов. Система управления линии обеспечивала выполнение технологического маршрута - последовательное выполнение технологических операций путем перемещения пластин от одного модуля к другому. Работа оператора заключалась только в загрузке кассеты с пластинами в приемный модуль и выгрузки из приемного модуля кассет с пластинами с интегральными схемами на них. Все технологические операции проводились в вакууме без выноса пластин на воздух, что обеспечивало низкий уровень привнесенных дефектов и высокий уровень выхода годных приборов.
Развитие микроэлектроники поставило задачу дальнейшего развития и совершенствования элементной базы вакуумной техники. В институте были разработаны новые средства откачки, в том числе:
- форвакуумные механические вакуумные насосы с масляным уплотнением, предназначенные для откачки агрессивных газов;
- серия диффузионных насосов производительностью до 50 000 л/с;
- турбомолекулярные насосы на шарикоподшипниковых опорах и с магнитными опорами ротора;
- криогенные насосы заливные и с газовыми микрогенераторами;
- магниторазрядные насосы.
В течение многих лет в институте проводились исследования и разработка в области течеискания и герметичности приборов. Были проведены методические работы по высокочувствительному контролю герметичности крупногабаритных объектов (камеры испытаний космической техники) масс-спектрометрическим методом. Были разработаны и внедрены в серийное производство автоматизированные установки контроля герметичности при выпуске электровакуумных приборов. Развитие техники течеискания в 1980 – 1990 годах включало в себя поиск новых принципов создания течеискательной аппаратуры. Был разработан и внедрен в серийное производство новый течеискатель электронозахватного типа, который рассчитан на самостоятельное применение для поиска течей способом щупа, а также на работу в составе высокопроизводительного автомата контроля герметичности изделий при массовом производстве.
В 1980 – 1990 гг. в институте проведена разработка большого количества современной вакуумной арматуры, в которой нуждалась электронная промышленность. Были внедрены в серийное производство на заводе «Темп» (г. Фурманов) параметрические ряды клапанов, затворов, натекателей, газонапускных систем с ручным, электромагнитным, электромеханическим и типами приводов на широкий диапазон давлений – от атмосферного до 10-10 Па.
В 1960 – 1990 гг. в институте с привлечением ряда НИИ разработаны рабочие жидкости для вакуумных насосов: минеральные и синтетические, в том числе стойкие для диффузионных и механических насосов, специальные для турбомолекулярных насосов.
Значительное количество исследований и разработок в НИИВТ было выполнено для нужд оборонной техники. В число этих работ входили:
- поставка изделий ВИР-14 для танковых лазерных прицелов с приемкой представителем заказчика;
- разработка изделия «Особняк-4» для поиска скрытых приборов;
- разработка и поставка малогабаритных магниторазрядных насосов для комплектования аппаратуры, работающей в космосе;
- разработка и поставка специального магниторазрядного насоса НМДО-1 для откачки крупного СВЧ-генератора, предназначенного для дальнего обнаружения ракет;
- оценка газопроницаемости изделий типа ЭОП, работающих в космическом пространстве;
- разработка и поставка специального малогабаритного геттерно-ионного насоса для откачки гироскопов подводных лодок;
- счетчики Гейгера-Мюллера.
В 1995 г. на основании Приказа от 22.03.1995 г. № 71 - «А» НИИВТ им. С. А. Векшинского переименован в «Государственный НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского». В 1995 г. на основании Приказа от 28.02.2002 г. № 19 - «А» «Государственный НИИ вакуумной техники им. С.А. Векшинского» переименован в Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского» (ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
В период времени начиная с 1995 года по настоящее время в «НИИВТ им. С.А. Векшинского» выполнялись следущие работы:
- разработка и изготовление средств откачки, включая вакуумные диффузионные, турбомолекулярные и геттерно ионные насосы;
- разработка и изготовление средств контроля и измерения вакуума, включая преобразователи давления, вакууметры, масс-спектрометры и другие изделия;
- разработка и изготовление вакуумной системы, состоящей из вакуумной камеры большого объема, средств откачки, контроля и измерения вакуума, для стенда полноразмерных испытаний космических аппаратов на земле по заказу Роскосмоса;
- разработка вакуумного оборудования и технологии нанесения металлических покрытий на различные поверхности большой площади, в том числе на поверхности диэлектрических пленок для средств тепловой защиты космических аппаратов;
- разработка оборудования и технологии плазменного и ионно-плазменного нанесения и травления металличеких и диэлектрических слоев для микроэлектроники и медицины;
- разработка специального оборудования и технологии изготовления электровакуумных приборов специального назначения, в том числе ФЭУ, ВЭУ, газоразрядных импульсных разрядников (ГИР), нейтронных трубок, детекторов ионизирующих излучений, лазерных гироскопов и других изделий;
- разработка, изготовление и поставка малогабаритных геттерно-ионных насосов (ГИН) для специальной техники, а также поставка комплектущих к этим изделиям;
- разработка, изготовление и поставка счетчиков Гейгера - Мюллера в рамках Государственного оборонного заказа.
В 2013 г. на основании Приказа от 23.05.2013 г. № 1 - «А» ФГУП «НИИВТ им. С. А. Векшинского» было преобразовано в Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
В 2017 г. на основании Приказа от 09.08.2017 г. № 99 - «А» ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского» было переименовано в Акционерное общество «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
НИИВТ берет свое начало с небольшой Центральной вакуумной лаборатории (ЦВЛ), организованной в 1944 г. одним их основателей отечественной вакуумной промышленности, впоследствии академиком АН СССР Сергеем Аркадьевичем Векшинским.
Первоначально лаборатория занималась проблемами, связанными с применением изобретенного С.А. Векшинским метода металлографического исследования сплавов в вакууме. Однако в 1945 г. происходит существенное изменение тематики лаборатории. По инициативе И.В. Курчатова коллектив, возглавляемый С.А. Векшинским, был привлечен к работам по созданию атомного оружия. На ЦВЛ возлагаются задачи по разработке принципиально новой техники получения и измерения вакуума, детекторов ионизирующих излучений, реализации метода электромагнитного разделения изотопов урана. Принимая во внимание исключительную важность и сложность поставленных проблем, в 1947 г. правительство принимает решение о создании на базе ЦВЛ Научно-исследовательского вакуумного института (НИВИ) в составе Министерства радиоэлектронной промышленности СССР (МРП СССР). Директором НИВИ назначается член-корреспондент АН СССР С.А. Векшинский.
Проведение широким фронтом исследований и разработок позволило институту получить серьезные результаты уже в первые годы существования. Были созданы высокопроизводительные вакуумные диффузионные насосы Н-3 и Н-20 с быстротой действия 10 000 и 20 000 л/с, бустерный насос БН-3, форвакуумные насосы ВН-1, ВН-2 и ВН-4, необходимая вакуумная арматура. Выполнена разработка вакууметров УТВ-46, ВИ-4 и ВК-1 с преобразователями ЛТ-2 и ЛМ-2.
Группой сотрудников выполнены исследования направленные на разработку технологии обогащения урана изотопом U235 методом электромагнитной масс-сепарации.
Создан первый отечественный масс-спектрометрический гелиевый течеискатель ПТИ-1, а затем созданы модели с более высокими характеристиками. Создаются и внедряются в серийное производство измерители парциальны давлений ИПДО-1 и ИПДО-2, которые широко применялись в различных отраслях промышленности.
Важным направлением работы института становится разработка ионизирующих излучений. Ионизационными камерами для контроля и управления работой атомных реакторов, созданными в НИВИ, были оснащены исследовательские и промышленные ядерные реакторы, начиная со знаменитого Ф-1, энергетические установки всех атомных подводных лодок, первая в мире АЭС в Обнинске (1954 г.), первый атомный ледокол «Ленин» и другие объекты.
В начале 1950-х гг. НИВИ принимается за исследования и разработки по созданию специальных электровакуумных приборов, необходимых для повышения эффективности ядерного оружия. До тех пор никому в мире не удавалось сделать такие приборы. Испытания в 1954 г. ядерных бомб РДС-3 и РДС-5 показали высокий технический уровень и надежность созданных в институте приборов.
В 1950-е гг. НИВИ включается в работу по решению «труднейшей и величественной задачи века» – овладению энергией термоядерного синтеза. По словам И.В. Курчатова, термоядерные реакторы не могут быть созданы без настоящей технической революции в области вакуумной техники, когда необходимо получать в больших установках в тысячи и десятки тысяч раз более глубокие разрежения. Для этого институту было необходимо провести широкий комплекс научно-технических мероприятий, включавший в себя разработку средств получения высокого и сверхвысокого, в том числе безмасляного вакуума, приборов для измерения низких давлений в условиях агрессивных сред, рассеянных магнитных полей и т.п., высокочувствительной и надежной аппаратуры поиска течей в разнообразных системах, новой соединительной и запорной аппаратуры. В результате работы в этих направлениях в 1950-х годах в институте была создана база для перехода к вакуумной технике нового поколения с применением устройств испарения, ионизации, разряда в вакууме, сорбции газа на охлаждаемых поверхностях с использованием возобновляемых слоев химически активных элементов и т.п.
В конце 1950-х гг. были сконструированы электронно-лучевые испарители титана, обеспечивающие скорость испарения до 1,5 г/мин. Испарители использовались для нанесения титана н специально охлаждаемые экраны внутри термоядерных реакторов типа ОГРА. Еще одним результатом работы в этом направлении стала разработка сорбционно-ионных насосов типа СИН с быстротой действия до 2500 л/с. На базе насоса СИН-20 был создан уникальный откачной агрегат АВТО-20М, обладавший быстротой действия по водороду 3000 л/с с предельным давлением 10-10 Па.
В начале 1960-х гг. был создан новый ряд геттерно-ионных насосов типа ГИН с быстротой действия от 5 до 50 000 л/с, особенностью которых являлось применение оригинальных прямонакальных испарителей на основе иодидного титана. Признанием высокого технического уровня созданных геттерно-ионных насосов стало награждение насоса ГИН-0,5 золотой медалью Лейпцигской ярмарки в 1965 г.
В 1960 – 1964 гг. в институте разрабатывается первая серия диодных магниторазрядных насосов типа НЭМ с быстротой действия от 30 до 6500 л/с и предельным остаточным давлением 10-8 Па. Спустя несколько лет создаются оригинальные сверхвысоковакуумные насосы типа НОРД. Насосы имели аноды, охлаждаемые водой, и отличались более высокой производительностью и повышенным давлением запуска. Результатом дальнейшего совершенствования насосов стала разработка серии диодных насосов типа НМД с неохлаждаемым анодом и быстротой действия от 0,1 до 1000 л/с.
В середине 1960-х гг. в институте были созданы первые образцы турбомолекулярных насосов. Дальнейшее совершенствование турбомолекулярных средств откачки позволило создать в последующие годы конструкции как со смазываемыми маслом шарикоподшипниковыми опорами, так и полностью безмасляные насосы с магнитными опорами ротора.
Одновременно была разработана единая система паромасляных насосов и агрегатов. В том числе был создан парортутный насос с рекордным предельным вакуумом 10-11 Па.
В конце 1960-х гг. были созданы крупнейшие в мире диффузионные насосы с быстротой действия 100 000 и 200 000 л/с. Проводилась большая работа по совершенствованию средств измерения вакуума. Были созданы новые вакууметры как общего применения, так и для использования в АСУТП.
Наряду с созданием вакуумного оборудования институт непосредственно занимался исследованиями и разработками по проблеме управляемого термоядерного синтеза и ускорителей элементарных частиц. В 1950-е гг. проводилась разработка сильноточного инжектора ионов для крупных ускорительных систем. В 1961 г. была введена в действие крупногабаритная установка для исследования плазменных процессов В-04, на которой изучались взаимодействие водородной плазмы со стенками, возможность создания высоко- и сверхвысокой вакуумной среды в рабочей камере, процесс зондирования плазмы пучками нейтральных атомов и другие процессы. По отзывам академиков А.Ф. Иоффе и Л.А. Арцимовича, эти эксперименты дали важный материал для понимания процессов образования и удержания высокотемпературной плазмы.
Одной из конкретных задач, поставленных перед институтом атомной энергетикой, явилась проблема получения особо чистого циркония. В короткий срок институт сумел разработать технологию и оборудование для получения особо чистого циркония и внедрил их в промышленное производство.
С развертыванием в стране деятельности рамках программы работ по исследованию и освоению космического пространства НИВИ был привлечен к созданию вакуумного оборудования для этой цели. С участием института проектируются вакуумные комплексы для заполнения ракет топливом, вакуумные камеры-имитаторы космического пространства, разрабатываются методики и приборы для проверки на герметичность космических аппаратов. Специалисты института участвуют в предполетных испытаниях искусственных спутников земли ИС-1, ИС-2, ИС-3, космических кораблей «Восток-1», «Восток-2» и др.
Одной из важных и ответственных работ института по космической тематике стало создание специального контейнера и вакуумной станции для приема и исследования лунного грунта, доставленного советской межпланетной станцией «Луна-16». Разработаны уникальные приборы для измерения концентрации космической плазмы, которыми были оснащены межпланетные станции «Луна-9» и «Луна-10», а в 80-х годах станции «Вега-1» и «Вега-2».
С 1960-х гг. НИВИ все большей степени привлекается к разработке вакуумных технологий и оборудования для электронной промышленности.
В 1966 г. на основании Приказа от 18.11.1966 г. № 280 НИВИ (п/я 2168) переименован в Научно-исследовательский институт вакуумной техники (НИИВТ).
Широкий спектр новых задач был поставлен перед учеными и инженерами бурно развивавшимся производством полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС).
Одним из наиболее важных процессов производства ППП и ИС является контролируемое введение примесей заданных элементов в полупроводниковые пластины. С начала 1960-х гг. стали предприниматься попытки использовать для введения примесей пучком ускоренных ионов. Метод, получивший название ионной имплантации, позволял осуществлять введение примесей при сравнительно низких температурах с заданным профилем распределения примеси по глубине.
В 1969 г. в НИИВТ была создана первая универсальная установка ионной имплантации «Везувий-1» и освоено ее серийное производство. Установка ионной имплантации представляет собой сложное электрофизическое оборудование, в которых обработка полупроводниковых пластин проводится в высоком вакууме, а ускоряющее напряжение пучка ионов может достигать 200 – 500 кВ. Установки ионной имплантации имеют стратегическое значение, их продажа в СССР из-за рубежа была запрещена, и этот запрет сохраняется и в настоящее время для продаж в Россию. Вслед за первой установкой ионной имплантации в НИИВТ был разработан параметрический ряд установок, отличающихся по виду и энергии ионов, величине ионного тока, величине дозы имплантации и т.п. В течение 20 лет было создано 17 моделей установок ионной имплантации типа «Везувий», позволивших полностью удовлетворить потребность электронной промышленности СССР в технологическом оборудовании данного типа. Базовыми заводами отрасли за это время были изготовлены около 1000 таких установок, с использованием которых отечественной промышленностью были выпущены сотни миллионов приборов – дискретных ППП и интегральных схем разных классов, включая сверхбольшие и сверхскоростные интегральные схемы (СБИС и УБИС).
В связи с потребностями электронной промышленности с начала 1970-х годов выполняется комплекс исследований и разработок, связанных с созданием ионно-плазменных методов осаждения и травления пленок. Ранее в институте был создан оригинальный холодный ионный источник, защищенный патентами в восьми высокоразвитых странах. На базе усовершенствованного источника с холодным катодом и практически неограниченным сроком службы совместно с Калининградским машиностроительным заводом разработана гамма установок ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого травления и ионно-плазменного осаждения тонких пленок.
Технология и оборудование ионно-плазменной обработки стали одним из тематических направлений института. Наряду с ионно-лучевыми источниками разработан ряд источников ионов магнетронного типа МАГ и оборудование на их основе. Разработанные технологические процессы и оборудование позволили исключить жидкостные процессы в производстве и подойти к реализации в промышленности полностью сухого цикла изготовления изделий микроэлектроники с субмикронными размерами элементов. На базе этого оборудования стало возможным создание полностью автоматизированных технологических линий изготовления ППП и ИС.
Еще одним направлением работ в НИИВТ для электронной промышленности явилась разработка вакуумно-дуговых методов нанесения металлических покрытий на диэлектрические и металлические изделия. На базе разработанных институтом плазменно-дуговых источников совместно с Калининградским машиностроительным заводом создано оборудование для плазменно-дугового нанесения покрытий.
С целью использования в серийном производстве электровакуумных приборов типа ЭОП и др. в институте была разработана технология «переноса» для изготовления ЭВП в едином вакуумном цикле.
Для автоматизации технологического оборудования созданного в НИИВТ были разработаны управляющие технологические комплексы типа «Интеграл» и УТК.
В 1977 г. на основании Приказа от 08.07.1977 г. № 36-в НИИВТ переименован в Научно-исследовательский институт им. С.А. Векшинского.
В 1977 г. НИИВТ был привлечен к выполнению большой и ответственной работы по изготовлению и поставке в Ливию для строящегося Центра атомных исследований (ЦАИ) вакуумно-технологического комплекса по проекту «Токомак-4А». В июле 1982 г. оборудование было смонтировано и введено в действие в составе ЦАИ.
В связи с быстрым ростом увеличения степени интеграции интегральных схем возникла потребность в создании литографического оборудования обеспечивающего создание топологии ИС с субмикронными размерами элементов. Для достижения этой цели в НИИВТ была разработана уникальная не имеющая аналогов в мире установка электронной проекционной литографии «Вертикаль», принцип действия которой заключался в переносе изображения СБИС с перфорированной маски на пластину с уменьшением от 3 до 10 раз и разрешением 0,2 мкм. Был предусмотрен также вариант переноса изображения отдельных фрагментов СБИС с маски на пластину и высокоскоростное впечатывание этих фрагментов в единую СБИС на пластине. Разработанные установки типа «Вертикаль» были запущены в серийное производство и применялись для производства СБИС ЗУ на ЦМД в НИИВТ и других предприятий отрасли.
В 1982 г. на основании Приказа от 26.11.1981 г. № 140-в Научно-исследовательский институт им. С.А. Векшинского переименован в Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского (НИИВТ им. С.А. Векшинского).
В 1985 г. в институте была создана уникальная не имеющая аналогов в мире полностью автоматизированная линия, предназначенная для изготовления сверхбольших интегральных схем запоминающих устройств (СБИС ЗУ) на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД) с размерами элементов до 0,5 мкм. Линия состояла из модуля электронной проекционной литографии, модулей нанесения и проявления сухих вакуумных электронных резистов, модулей плазменного и ионно-плазменного нанесения и травления конструкционных слоев, которые были связаны между собой вакуумной транспортной системой для переноса пластин с устройствами шлюзования. Особенностью линии являлось применение также не имеющих аналогов в мире сухих вакуумных резистов, нанесение, экспонирование и проявление которых проводилось в вакууме без применения жидкостных процессов. Система управления линии обеспечивала выполнение технологического маршрута - последовательное выполнение технологических операций путем перемещения пластин от одного модуля к другому. Работа оператора заключалась только в загрузке кассеты с пластинами в приемный модуль и выгрузки из приемного модуля кассет с пластинами с интегральными схемами на них. Все технологические операции проводились в вакууме без выноса пластин на воздух, что обеспечивало низкий уровень привнесенных дефектов и высокий уровень выхода годных приборов.
Развитие микроэлектроники поставило задачу дальнейшего развития и совершенствования элементной базы вакуумной техники. В институте были разработаны новые средства откачки, в том числе:
- форвакуумные механические вакуумные насосы с масляным уплотнением, предназначенные для откачки агрессивных газов;
- серия диффузионных насосов производительностью до 50 000 л/с;
- турбомолекулярные насосы на шарикоподшипниковых опорах и с магнитными опорами ротора;
- криогенные насосы заливные и с газовыми микрогенераторами;
- магниторазрядные насосы.
В течение многих лет в институте проводились исследования и разработка в области течеискания и герметичности приборов. Были проведены методические работы по высокочувствительному контролю герметичности крупногабаритных объектов (камеры испытаний космической техники) масс-спектрометрическим методом. Были разработаны и внедрены в серийное производство автоматизированные установки контроля герметичности при выпуске электровакуумных приборов. Развитие техники течеискания в 1980 – 1990 годах включало в себя поиск новых принципов создания течеискательной аппаратуры. Был разработан и внедрен в серийное производство новый течеискатель электронозахватного типа, который рассчитан на самостоятельное применение для поиска течей способом щупа, а также на работу в составе высокопроизводительного автомата контроля герметичности изделий при массовом производстве.
В 1980 – 1990 гг. в институте проведена разработка большого количества современной вакуумной арматуры, в которой нуждалась электронная промышленность. Были внедрены в серийное производство на заводе «Темп» (г. Фурманов) параметрические ряды клапанов, затворов, натекателей, газонапускных систем с ручным, электромагнитным, электромеханическим и типами приводов на широкий диапазон давлений – от атмосферного до 10-10 Па.
В 1960 – 1990 гг. в институте с привлечением ряда НИИ разработаны рабочие жидкости для вакуумных насосов: минеральные и синтетические, в том числе стойкие для диффузионных и механических насосов, специальные для турбомолекулярных насосов.
Значительное количество исследований и разработок в НИИВТ было выполнено для нужд оборонной техники. В число этих работ входили:
- поставка изделий ВИР-14 для танковых лазерных прицелов с приемкой представителем заказчика;
- разработка изделия «Особняк-4» для поиска скрытых приборов;
- разработка и поставка малогабаритных магниторазрядных насосов для комплектования аппаратуры, работающей в космосе;
- разработка и поставка специального магниторазрядного насоса НМДО-1 для откачки крупного СВЧ-генератора, предназначенного для дальнего обнаружения ракет;
- оценка газопроницаемости изделий типа ЭОП, работающих в космическом пространстве;
- разработка и поставка специального малогабаритного геттерно-ионного насоса для откачки гироскопов подводных лодок;
- счетчики Гейгера-Мюллера.
В 1995 г. на основании Приказа от 22.03.1995 г. № 71 - «А» НИИВТ им. С. А. Векшинского переименован в «Государственный НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского». В 1995 г. на основании Приказа от 28.02.2002 г. № 19 - «А» «Государственный НИИ вакуумной техники им. С.А. Векшинского» переименован в Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского» (ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
В период времени начиная с 1995 года по настоящее время в «НИИВТ им. С.А. Векшинского» выполнялись следущие работы:
- разработка и изготовление средств откачки, включая вакуумные диффузионные, турбомолекулярные и геттерно ионные насосы;
- разработка и изготовление средств контроля и измерения вакуума, включая преобразователи давления, вакууметры, масс-спектрометры и другие изделия;
- разработка и изготовление вакуумной системы, состоящей из вакуумной камеры большого объема, средств откачки, контроля и измерения вакуума, для стенда полноразмерных испытаний космических аппаратов на земле по заказу Роскосмоса;
- разработка вакуумного оборудования и технологии нанесения металлических покрытий на различные поверхности большой площади, в том числе на поверхности диэлектрических пленок для средств тепловой защиты космических аппаратов;
- разработка оборудования и технологии плазменного и ионно-плазменного нанесения и травления металличеких и диэлектрических слоев для микроэлектроники и медицины;
- разработка специального оборудования и технологии изготовления электровакуумных приборов специального назначения, в том числе ФЭУ, ВЭУ, газоразрядных импульсных разрядников (ГИР), нейтронных трубок, детекторов ионизирующих излучений, лазерных гироскопов и других изделий;
- разработка, изготовление и поставка малогабаритных геттерно-ионных насосов (ГИН) для специальной техники, а также поставка комплектущих к этим изделиям;
- разработка, изготовление и поставка счетчиков Гейгера - Мюллера в рамках Государственного оборонного заказа.
В 2013 г. на основании Приказа от 23.05.2013 г. № 1 - «А» ФГУП «НИИВТ им. С. А. Векшинского» было преобразовано в Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
В 2017 г. на основании Приказа от 09.08.2017 г. № 99 - «А» ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского» было переименовано в Акционерное общество «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского» (АО «НИИВТ им. С.А. Векшинского»).
Количество дел
:
4909
Крайние даты документов
:
1946-2012
Количество описей
:
7